ЧЕРКАСОВ Александр Алексеевич
должность: инженер, аспирант
e-mail:
cherkasov@opee.hcei.tsc.ru
| Образование | Томский Государственный Университет, Химический факультет, 2016-2021 гг. |
| Научные интересы | генерация газоразрядной и металлической низкотемпературной плазмы; плазменные методы нанесения функциональных покрытий |
| ORCID ID | 0000-0002-2429-4969 |
| Researcher ID | HJB-4225-2022 |
| Scopus | 57463526300 |
Участие в проектах РФФИ и РНФ
РНФ 21-19-00136 Мощная магнетронная система в режиме самораспыления с внешней инжекцией электронов (исполнитель)
Премии, награды
Призер конкурса молодых ученых ИСЭ СО РАН 2022 года в номинации инженерно-технологических работ – III место
Список публикаций
- Parameters and ion mass-to-charge composition of a high-power impulse magnetron discharge with electron injection //Vacuum. (Q1) – 2022. – Т. 200. – С. 111056
- Modified residual gas analyzer for measuring the ion mass-to-charge composition of a repetitively pulsed plasma // AIP Advances, – 2022. – 12(2). – 025017
- Особенности инжекции электронов из плазмы эмиттерного разряда в планарную магнетронную распылительную систему //Прикладная физика. – 2022. – №. 3. – С. 17
- Планарный магнетронный разряд с центральной инжекцией электронов // Прикладная физика. – 2023, №1
