В Институте сильноточной электроники СО РАН разработаны протяженные магнетронные распылительные системы (ПМРС) с вращающимися цилиндрическими катодами. ПМРС предназначены для использования в высокопроизводительных вакуумных технологических установках для нанесения покрытий из металлов и их соединений на подложки большой площади, в частности на архитектурные стекла.
Неоспоримым преимуществом цилиндрических магнетронов является высокая степень использования материала мишени - до 80%. В зависимости от типа и производительности установки мы можем предложить либо магнетроны с непрерывно вращающейся мишенью, либо магнетроны с периодически поворачиваемой мишенью. Дополнительным преимуществом магнетрона с непрерывно вращающейся мишенью является высокая стабильность работы в режимах реактивного распыления.
Магнетрон с вращающейся мишенью наиболее эффективен для применения в конвейерных технологических установках, либо в установках периодического действия с неподвижными технологическими источниками. Время непрерывной работы магнетрона может достигать 150 часов.
Магнетрон с периодически поворачиваемой мишенью может применяться в установках периодического действия с подвижными технологическими источниками. Поворот катода осуществляется при очередном вскрытии вакуумной камеры. Допустимое время непрерывной работы магнетрона между поворотами 10 - 20 часов.
Конструктивно ПМРС представляет собой трубу, выполненную из распыляемого металла, имеющую диаметр 60 -120 мм и длину до 2,5 м. Внутри мишени (катода) расположены магнитная система на основе постоянных самарий - кобальтовых магнитов и каналы для протока охлаждающей воды. Система уплотнений позволяет вращать катод магнетрона относительно магнитов, при этом в зону распыления попадают новые участки катода.
В зависимости от технологических требований мы можем предложить магнетроны с магнитными системами, формирующими либо один поток распыленного материала (односторонний магнетрон), либо два потока в диаметрально противоположных направлениях, что позволяет производить нанесение покрытий одновременно на две подложки.
Магнитная система магнетронов, сконструированная по результатам компьютерного моделирования, обеспечивает высокую однородность нанесения покрытия даже при значительном износе мишени.
КОНТАКТЫ
Ковшаров Николай Федорович
заведуюший конструкторским отделом, к.т.н.
Тел.: +8 3822 492611
Соловьев Андрей Александрович
заведующий лабораторией прикладной электроники, к.т.н.
Тел.: +8 3822 491651
E-mail:
andrewsol@mail.ru
